[发明专利]一种钢领用PVD均匀镀膜工装设计在审
| 申请号： | 202210094173.9 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114592177A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 覃礼钊;张同华;赵仁兵;王可平 | 申请（专利权）人： | 西南大学;重庆金猫纺织器材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 重庆信必达知识产权代理有限公司 50286 | 代理人： | 刘会锋 |
| 地址： | 400715*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钢领用PVD均匀镀膜工装设计，涉及机械设计制造领域，包括真空室和钢领固定圈，钢领固定圈包括放置环和插接环，插接环固定在放置环的侧面，真空室的顶部转动连接的转盘，真空室的下侧设有第一电机和第二电机，第一电机的输出轴上套设有转筒且上端均贯穿真空室下侧，第一电机的输出上端固定有中心圆盘，转筒上端固定有中心齿轮，支撑轴的自由端与转盘的中部固定连接，转盘的边缘转动连接有曲杆，曲杆上套设有多个固定器，曲杆的下端固定有从动齿轮，从动齿轮与中心齿轮相啮合。采用本发明的技术方案能够利用公转与自转原理，使能量相同的离子均匀地、无差别地沉积到平放的钢领内、外跑道上，膜层均匀致密，结合力强，产品一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钢领 pvd 均匀 镀膜 工装 设计 | ||
【主权项】：
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