[发明专利]一种单晶炉拉晶定埚位的精准确定方法在审
| 申请号： | 202210091222.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114438586A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 杨昊;温成;杨阳;李向宇 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 王建文 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉拉晶定埚位的精准确定方法，涉及单晶炉技术领域。本发明拉晶定埚位的精准确定方法包括引晶定埚位的确定方法和转肩时埚跟比的确定方法；引晶定埚位的确定方法包括：第一步：确定石英坩埚的内径和外径；第二步：制造一测量辅助盘，且测量辅助盘由固定盘和定位盘组成，固定盘的直径为石英坩埚的外径加上1cm。本发明通过测量辅助盘和石英坩埚的配合，使得装置在使用时能够通过测量辅助盘辅助确定拉晶时引晶步骤的埚位位置，能够通过确定的距离数值来持续加工，且通过对拉晶中转肩步骤结尾时的埚升曲线进行判断，并通过坐标计算公式确认其埚跟比坐标，以及通过公式计算出埚升的正确速度来纠正埚升曲线错误。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉拉晶定埚位 精准 确定 方法 | ||
【主权项】：
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