[发明专利]支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法在审
| 申请号： | 202210089312.9 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114464336A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 赵娇玲;郭胜;李笑然;朱美萍;邵宇川;王涛;张益彬;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G21K1/10 | 分类号： | G21K1/10;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 结构 多层 透射 滤光 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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