[发明专利]一种声表面波器件电极结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202210088875.6 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114553171A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 苗湘;兰则超;闫坤坤;黄歆 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞鸿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 郑雷;庄博强 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种声表面波器件电极结构及其制作方法，其电极结构包括第一电极层、第二电极层和第三电极层；所述第一电极层镀覆于所述压电基底的一面；所述第二电极层镀覆于所述第一电极层远离所述压电基底的一面；所述第三电极层镀覆于所述第二电极层远离所述压电基底的一面；所述第一电极层和第三电极层为金属材料制成；所述第二电极层为半导体材料制成。当第二电极层镀覆于第一电极层上时，随着声表面波滤波器长时间使用，其产生的高温使得金属原子具有移动的趋势，但由于此时半导体分子较为稳定，能够阻碍金属原子在具有移动的趋势下不发生移动，进而在一定程度上提高了声表面波滤波器的功率耐受性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 器件 电极 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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