[发明专利]一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置在审
| 申请号： | 202210088706.2 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114112010A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 杨华;孙斐;陈杰;张浩 | 申请（专利权）人： | 青岛国数信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01S7/521 |
| 代理公司： | 青岛锦佳专利代理事务所(普通合伙) 37283 | 代理人： | 朱玉建 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市即*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于声学信号检测技术领域，具体公开了一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置。其中，声学测量单元包括由下向上依次设置的SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层；SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层均为圆形；SOI基座包括由下向上依次设置的下硅层、二氧化硅层以及上硅层；SOI基座的底部设置空腔，该空腔在上下方向上贯穿下硅层；在由空腔位置向上正投影到上电极层的区域范围内形成有多个悬臂梁；其中，各个所述悬臂梁均为大小相等的扇形结构，且沿着同一个圆周方向顺序排布；任意相邻两个悬臂梁之间通过一条刻蚀沟槽隔开，且所有悬臂梁均与上电极层连接。本发明利于实现对超低频声音信号的感测，同时提高检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 低频 水下 声学 信号 检测 测量 单元 装置 | ||
【主权项】：
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