[发明专利]一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法有效
| 申请号： | 202210079731.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114396876B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵功;刘洋;徐猛;赵运武;李月;王骁;杨碧颖;涂飞;徐刚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 伍旭伟 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法，涉及光学精密检测技术领域，主要通过真空箱提供真空环境，真空箱内设置监测组件，检测组件包括旋转定位调节装置、激光模组和图像采集模组，其中，激光模组用于朝图像采集模组方向发射光束，旋转定位调节装置用于有选择性地多次使光束穿过，图像采集模组用于采集穿过光束的定位点图像。以上技术方案一方面通过构建真空环境，使得整个激光光束检测趋近于真实运行环境，保证检测结果准确，另一方面通过使光束进行多次穿透并及时采集光束的定位点图像，从而能够通过多次结果比对来保证检测结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 透射 重复 定位 精度 检测 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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