[发明专利]真空容器抽真空的方法在审
申请号: | 202210071642.5 | 申请日: | 2022-01-21 |
公开(公告)号: | CN114623378A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 涂云宏;张东伟;梁学锋;郭东亮;李壮;冯江涛;张星淳 | 申请(专利权)人: | 北京国科环宇科技股份有限公司 |
主分类号: | F17C13/00 | 分类号: | F17C13/00;F17C13/04;F17C5/00;F17C7/00;F17D1/065;F17D3/01;F04B45/04;F04B53/20;F04B53/10;F04D19/04 |
代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 杨佩 |
地址: | 100190 北京市海淀区知春路*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及抽真空设备技术领域,尤其涉及一种真空容器抽真空的方法。该真空容器抽真空的方法包括以下步骤:步骤一:将第一电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀均调整为关闭状态;步骤二:打开第三电磁阀并启动第一真空泵,第一真空泵将真空容器中的气体抽出到外部环境中;步骤三:打开第一电磁阀,使压力容器中的保护气体流入到真空容器中,接着关闭第一电磁阀;步骤四:在真空容器中进行特定加工工作。该真空容器抽真空的方法,能够利用四通、废气瓶、第二升压泵和第五电磁阀的配合工作,使四通处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里,防止保护气体从真空容器流入到压力容器的过程中被外界空气污染。 | ||
搜索关键词: | 真空 容器 方法 | ||
【主权项】:
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