[发明专利]带图像识别的自动聚焦方法、装置、计算机及存储介质

摘要

本发明公开了一种带图像识别的自动聚焦方法、装置、计算机设备和存储介质，方法包括：选择开启图像系统和/或聚焦系统；依据获取的成像光束和/或聚焦光束进行自动聚焦；当选择同时开启图像系统和聚焦系统时，同时采集图像系统的多幅图像信息和聚焦系统的能量差值信息，并记录采集多幅图像和能量差值时的Z向位置，使图像中心和聚焦中心对准，以获得被测物体的同步焦点位置；装置包括主镜头、聚焦光源、图像照明光源、聚焦接收端、图像接收端。本方案的方法使用共镜头的设计，两套系统实现中心对准，可以相互弥补，可以更加快速精确的找到被测物面，能够满足目前市场上绝大部分半导体量测设备的需求。