[发明专利]一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法有效

专利信息
申请号: 202210066487.8 申请日: 2022-01-20
公开(公告)号: CN114486816B 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 王攀;刘璐芳;仝远彪;童利民;郭欣;郑钧升;潘陈馨钰;李志勇 申请(专利权)人: 浙江大学嘉兴研究院;浙江大学
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林超
地址: 314000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种光波导激发纳腔表面等离激元共振的方法。在光波导的端面、外表面等表面上布置有由金属纳米颗粒、介质层、金属膜组成的纳腔结构;将金属膜先布置在光波导的表面上,金属纳米颗粒再通过介质层隔绝地布置在金属膜外表面上。本发明通过从金属膜下表面激发纳腔从而实现纳腔与光纤、集成光波导等光学系统的紧凑高效集成,不需要显微镜激发,易于集成、结构简单、成本廉价,满足纳腔等离激元器件小型化和集成化发展的需求。
搜索关键词: 一种 波导 激发 表面 离激元 共振 方法
【主权项】:
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