[发明专利]一种真空腔体翻转结构在审

专利信息
申请号: 202210060931.5 申请日: 2022-01-19
公开(公告)号: CN114310752A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 张俊峰;赵子东;许春立;魏庆瑄 申请(专利权)人: 上海子创镀膜技术有限公司
主分类号: B25B11/02 分类号: B25B11/02;C23C14/00;C23C16/00
代理公司: 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 代理人: 李珍珍
地址: 201506 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于真空镀膜设备技术领域,具体公开了一种真空腔体翻转结构,包括真空腔体,所述真空腔体底端设有支撑底座,所述支撑底座内部设有固定槽,所述固定槽一端向支撑底座一侧延伸,所述固定槽底端设有液压缸,所述液压缸上设有液压杆,所述真空腔体顶端设有盖板,所述盖板一端设有旋转臂,所述旋转臂设置在靠近固定槽的一侧,所述旋转臂末端通过铰链轴设置在液压杆末端,所述旋转臂与液压杆转动连接,本发明通过设置的自动翻转结构可以使盖板进行95°倾斜,无需行吊将盖板吊起,方面了对真空腔体内部机构的安装、维护,又同时减少了使用单位对行吊的资金投入,提高了使用效率,降低生产成本。
搜索关键词: 一种 空腔 翻转 结构
【主权项】:
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