[发明专利]镀膜架具在审
| 申请号： | 202210059451.7 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114231935A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱锋 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种镀膜架具。所述镀膜架具包括多个夹具。所述多个夹具的每一者由多个工件放置槽组成，将多个微小的工件(比如微钻)组合到夹具的工件放置槽中，适合微小工件的保存，输运，清洗、镀膜、以及后续处理等，防止微小工具在各个环节受到二次损害，也节省手工操作的成本，提升效率。所述多个工件放置槽沿水平方向依序排列，所述多个工件放置槽的每一者经配置以使得工件在所述工件放置槽中水平放置并沿垂直方向堆叠排列，从而提升镀膜腔室空间的利用率，降低单个工件的镀膜成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 | ||
【主权项】：
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