[发明专利]Ti-Mo合金薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210045084.5 | 申请日： | 2022-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN114540778A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 潘艳;赵泉;王涛;张国君 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了Ti‑Mo合金薄膜及其制备方法，包括Ti元素和Mo元素，Mo元素含量为20～40wt％，晶粒尺寸为80～150nm。将钛靶材和钼靶材装入直流磁控溅射设备的靶位，将基材装入工件架放于炉腔中，然后对炉腔抽真空；向炉腔中通入氩气，设置基材偏压，开启靶材电源，对靶材和基材表面进行轰击清洗；调节基材偏压至预设值，设置钛靶、钼靶溅射功率，通过调节钼靶功率控制Mo元素含量，在基材表面上得到Ti‑Mo合金薄膜；待炉温冷却至室温，取出基材，得到BCC结构的β相Ti‑Mo合金薄膜。β相Ti‑Mo合金薄膜表面平整、结构致密、膜层附着力好；薄膜热力学稳定性好、平衡电位高，因而提高了基体材料的耐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | ti mo 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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