[发明专利]真空设备盖板、真空设备本体和真空设备有效
| 申请号： | 202210031196.5 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114396475B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡广云;李允求;冯卫东;江顺;陈禹;顾为飞;许盼 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 王亚军 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空设备技术领域，公开一种真空设备盖板、真空设备本体和真空设备。真空设备盖板包括板体，板体包括密封接触板部，密封接触板部包括内侧板面，板体用于能够封盖真空设备本体的腔开口，内侧板面上形成有朝向密封接触板部的内部延伸的凹槽，凹槽具有用于与密封槽的内侧槽壁的延伸形状相对应的延伸形状，凹槽具有允许内侧槽壁的槽壁外端面在挤压方向上的投影位于凹槽内的宽度，以使得凹槽的槽底面用于在挤压方向上与槽壁外端面保持间距。该真空设备盖板在能够确保真空密封性能的同时，避免在真空腔室内产生微粒，从而提升真空腔室内的洁净度，提升产品的成品率。另外，真空设备本体和真空设备也能够实现与真空设备盖板同样的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 盖板 本体 | ||
【主权项】：
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