[发明专利]一种CrAlMeN-CrAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途在审

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申请号: 202210026026.8 申请日: 2022-01-11
公开(公告)号: CN114381690A 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 许荣杰;吴玉美;赵晓晓;刘赟杰;刘超;刘伯路;林亮亮 申请(专利权)人: 厦门钨业股份有限公司;厦门金鹭特种合金有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361006 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及—种CrAlMeN‑CrAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途,所述涂层为依次沉积的周期性涂层单元,所述周期性涂层单元包括CrAlMeN层、CrAlN层和两层过渡层,其中一层过渡层设置在所述CrAlMeN层和CrAlN层之间;所述CrAlMeN层中Me包括Zr、Hf、V、Ta、Nb、Ti、W、Mn、Mo或Si中的任意一种或至少两种组合;所述过渡层的化学式为Crx2Aly2Me(1‑x2‑y2)N,其中0.25≤x2≤0.45,0.5≤y2≤0.75,0.01≤1‑x2‑y2≤0.1。所述纳米多层结构涂层具有优异的超硬性、强韧性、结合强度高、抗开裂、耐腐蚀和耐氧化等性能。
搜索关键词: 一种 cralmen craln 纳米 多层 结构 涂层 及其 制备 方法 用途
【主权项】:
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