[发明专利]一种闭环气压传感器有效
| 申请号： | 202210007632.5 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114046927B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;李晓波 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种闭环气压传感器，包括气压敏感结构和闭环控制电路。所述气压敏感结构包括：衬底，下电极，反馈加热电阻，锚区，敏感膜和上电极。其中，上电极结构包括敏感上电极和电极引出；下电极结构包括敏感下电极和电极引出。闭环控制电路，所述闭环控制电路包括：交流电源，气压敏感电容，电容，运放，三极管，反馈加热电阻。本发明通过闭环控制方式，在灵敏度不减小的前提下，气压传感器的满量程线性度得到改善；通过闭环控制电路的调节，气压传感器可以获得比开环状态更大的测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闭环 气压 传感器 | ||
【主权项】：
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