[发明专利]一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法在审
| 申请号： | 202210005355.4 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114486910A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 宋茂新;陈曦;李朕阳;凌明椿;楚玉恒;管恒睿;匡大鹏;刘吴昊;赵鑫鑫;洪津 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 陆丽莉;何梅生 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法，该装置包括激光器、光束折转模块、测焦模块、主探测模块、主光路模块、光陷阱模块、运动控制模块；其中由激光器发出的激光由光束折转模块入射到待测样品表面，光陷阱模块设置在其反射光的路径上。显微镜设置在待测样品的正上方，接收一定立体角范围内的散射光。接收到的散射光一部分在CMOS上成像，一部分通过分光棱镜由PMT能量接收模块接收。测焦模块通过另外一块分光棱镜检测待测样品的最佳焦面位置。本发明能将成像法和非成像法相互结合，从而很好地分辨出疵病的位置和二维尺寸信息，并能获得疵病产生的散射光能量大小，进而提高检测效率，并缩短检测消耗时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 光学 元件 表面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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