[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、电子器件的制造方法及层叠体的制造方法在审
| 申请号： | 202180085868.4 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116635790A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 两角一真;藤本进二;有富隆志 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种感光性转印材料、以及层叠体的制造方法、使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、蚀刻方法及电子器件的制造方法，所述感光性转印材料具有临时支承体及包含烯属不饱和化合物的感光性层，其中，利用超高压汞灯以波长365nm的能量密度100mJ/cm |
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| 搜索关键词： | 感光性 材料 树脂 图案 制造 方法 电路 电子器件 层叠 | ||
【主权项】：
暂无信息
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