[发明专利]用于多个罐的供应控制系统在审
| 申请号： | 202180073776.4 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN116507848A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | T·W·皮尔兹;C·L·休斯;J·P·普雷戈;S·S·卡布勒;仁相宰;A·J·史密斯;金志勋;李相近;金容泰;姜泰旭;权虎山;张星业;崔荣秀;黄孝种;俞方渊 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | F17C13/04 | 分类号： | F17C13/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开用于半导体制造工艺中使用的罐的供应控制系统。本公开实施方案的罐的供应控制系统包括用于存储用于制造半导体的大量工艺材料的多个罐；配置为与分别偶联于多个罐的分供应管连通并向半导体制造装置供应工艺材料的主供应管；分别包括在分供应管中并且配置为控制从多个罐的每一个排出的工艺材料流速的多个流量控制装置；包括在主供应管中并配置为实时测量从多个罐的每一个供应到半导体制造装置的工艺材料流速和工艺材料供应压力的传感器；与主供应管偶联且配置为补充地排出存储的工艺材料以使得工艺材料稳定地供应到半导体制造装置的后备部分；和配置为以基于由传感器测量的工艺材料流速的信息或工艺材料供应压力的信息来控制多个流量控制装置和后备部分以使得设定的工艺材料流速通过主供应管供应到半导体制造装置的控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多个罐 供应 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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