[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法

摘要

本发明提供一种超纯水的制造系统及制造方法，该超纯水的制造系统在使用超纯水后将含有过氧化氢的使用完的超纯水作为超纯水制造的被处理水进行再利用的超纯水制造中，通过简易的构成，可有助于装置及被处理水的清洁化。一种超纯水制造系统(1)，其是具有前处理部(2)、一次纯水制造部(3)及二次纯水制造部(4)、且用于制造超纯水的超纯水制造系统，其具有：贮存部(5)，该贮存部(5)设置于前处理部(2)的前段或前处理部(2)与一次纯水制造部(3)之间，能够贮存原水或被处理水；回收处理部(6)，该回收处理部(6)对于超纯水的使用后得到的含有过氧化氢的使用完的超纯水，将混入该使用完的超纯水中的杂质除去，并且使过氧化氢的一部分或全部透过而制成回收水；和循环机构(7)，该循环机构(7)将由该回收处理部(6)得到的回收水送回至贮存部(5)并使其循环。