[发明专利]在线性加速器中进行多重频率共振器操作的系统、装置以及方法在审
申请号: | 202180063440.X | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN116326215A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 彼得·F·库鲁尼西;大卫·T·伯拉尼克;法兰克·辛克莱 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | H05H9/04 | 分类号: | H05H9/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 章愫;刘芳 |
地址: | 美国加利福尼亚州圣塔克拉尔,鲍*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种装置、系统及方法。装置可包括:RF电源总成,被配置成输出RF信号;共振器,被耦合成接收RF信号,共振器包括第一输出端及第二输出端;以及漂移管总成,被配置成发射离子束,且耦合到共振器。这样一来,漂移管总成可包括:第一AC漂移管电极,耦合到第一输出端;以及第二AC漂移管电极,耦合到第二输出端且通过第一间隙与所述第一AC漂移管电极隔开。RF电源总成可进行切换以将输出从第一本征模式频率切换到第二本征模式频率。 | ||
搜索关键词: | 线性 加速器 进行 多重 频率 共振器 操作 系统 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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