[发明专利]等离子体处理的方法和装置在审
| 申请号： | 202180062428.7 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN116133742A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | J-M·瑟伊莫尔;T·豪伊 | 申请（专利权）人： | 黑达乐格瑞菲工业有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 成春荣;徐迅 |
| 地址： | 英国南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种在包括处理容器、电极、对电极和电源的装置中使用辉光放电等离子体处理样品的方法，电源包括一个或多个变压器并且具有第一变压器设置和第二变压器设置，方法包括：(i)装载步骤，包括将样品装载到处理容器中；(ii)第一处理步骤，包括通过在第一变压器设置下在电极和对电极之间施加电场在处理容器内形成的辉光放电等离子体中处理样品；(iii)第二处理步骤，包括通过在第二变压器设置下在电极和对电极之间施加电场在处理容器内形成的辉光放电等离子体中处理样品；以及(iv)去除步骤，包括从处理容器中去除经处理的样品。该方法可用于对样品进行官能化。本发明还涉及一种在这种方法中使用的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黑达乐格瑞菲工业有限公司，未经黑达乐格瑞菲工业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180062428.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
