[发明专利]二维光波导压力感测器阵列在审

专利信息
申请号: 202180043071.8 申请日: 2021-06-14
公开(公告)号: CN115867776A 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 亨利库斯·佩特鲁斯·安娜·范登布姆;安东尼乌斯·马塞勒斯·约瑟夫·科宁 申请(专利权)人: 卢西森斯科技私人有限责任公司
主分类号: G01L1/24 分类号: G01L1/24
代理公司: 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 代理人: 张瑛
地址: 荷兰登博斯布卢*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开揭露了一种二维光波导压力感测器阵列,包括两个或多个行光波导;两个或多个列光波导,其中行光波导和列光波导可变形并排列成平面阵列,以在交叉点定义感测器,其中每个交叉点包括行波导中的一个在其交叉点与列波导中的一个接触;其中每个交叉点进一步包括光耦合结构,配置为当压力施加到交叉点时加强波导的弯曲;其中,光耦合结构包括与行或列光波导中的至少一个接触设置的机械光散射材料层;其中,光波导压力感测器阵列被配置为通过向行光波导提供光和测量在每个交叉点耦合到其列光波导的光来感应压力,或反之亦然,并且其中耦合到列光波导的光依赖于施加到作为感测器的交叉点的压力。
搜索关键词: 二维 波导 压力 感测器 阵列
【主权项】:
暂无信息
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