[发明专利]雾成膜装置和雾成膜方法在审
| 申请号： | 202180010123.1 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN115003418A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;梶山比吕志;西康孝;奥井公太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B05B5/057 | 分类号： | B05B5/057;B05B5/08;B05B12/00;B05B13/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于洁;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种成膜装置，其将包含微粒的雾供给至基板，在基板的表面形成包含微粒的膜，该成膜装置具备：覆盖基板的表面的至少一部分的导风部件；以及将雾供给至基板的表面与导风部件之间的空间的雾供给部。雾供给部包括使雾带正电或带负电的带电赋予部；以及将通过带电赋予部而带电的雾向空间内喷出的雾喷出部。导风部件具有与基板的表面对置的壁面，包括使壁面产生与通过带电赋予部带电的雾相同符号的电位的静电场发生部。 | ||
| 搜索关键词： | 雾成膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180010123.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于制造微结构的模具元件
- 下一篇：电机
