[发明专利]真空泵及真空泵结构零件在审
| 申请号： | 202180007872.9 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN114846242A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 铃木春树;桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;张一舟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够以低成本提高压缩性的真空泵。具备多个在固定圆板(19c)处设置有漩涡状槽(62c)的西格巴恩排气机构(60)，西格巴恩排气机构设置于固定圆板(19c)的上游侧和下游侧的两板面(66、67)，在上游侧设置的漩涡状槽(62c)的终端部(62c1)及在下游侧设置的漩涡状槽(62c)的开始部(62c2)位于至少在一部分在周向上重叠的位置，且上游侧和下游侧的折回部的流路的宽度(Cc)相对于西格巴恩排气机构的流路的深度(Hc)为相等以下。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 结构 零件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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