[发明专利]光产酸剂在审
| 申请号： | 202180005348.8 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN114402260A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 木村秀基;白石笃志 | 申请（专利权）人： | 三亚普罗股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;C08G59/68;C09K3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 褚瑶杨;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供在光固化性组合物、化学增幅型负型光致抗蚀剂组合物中有用的光产酸剂，其是对这些组合物的耐黄变性有用的有用的光产酸剂。本发明的光产酸剂的特征在于，其含有下述通式(1)所表示的锍盐(CA)和通式(2)所表示的化合物(S)，在设利用高效液相色谱(HPLC)测定锍盐(CA)和化合物(S)的总量时的锍盐(CA)和化合物(S)的总面积为100时，化合物(S)的面积比为0.02以上3.0以下。 |
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| 搜索关键词： | 光产酸剂 | ||
【主权项】：
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