[外观设计]精密温控设备（TX-H30KWT-I4）有效
| 申请号： | 202130395983.4 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN307101474S | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 顾佳星;金鑫;冯熊涛 | 申请（专利权）人： | 合肥亦威科技有限公司 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 合肥汇融专利代理有限公司 34141 | 代理人： | 赵宗海 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：精密温控设备（TX‑H30KWT‑I4）。2.本外观设计产品的用途：用于半导体薄膜沉积（CVD/PVD）、刻蚀（Etch）等制程的温度精确控制，应用行业一般为LED、IC等晶元制造厂。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品整体的形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 温控 设备 tx h30kwt i4 | ||
【主权项】：
暂无信息
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