[实用新型]载物台有效
| 申请号： | 202123442516.6 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216772195U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄龙;张刘晶;张振生;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 陈延侨 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于固定装置领域，提供了载物台，包括基板，以及设于基板上的载板和至少一个推压组件，基板开设有容置腔，载板位于容置腔内并用于承载光刻物，载板的厚度小于容置腔的深度，推压组件设于容置腔并位于载板的一侧；推压组件包括斜压块和紧固件，斜压块开设有上下贯通的滑槽，紧固件能够沿滑槽移动，紧固件能够穿过滑槽而将斜压块与基板连接，斜压块背离载板的表面为倾斜面，容置腔具有与倾斜面配合的引导面，在光刻物位于载板上时，斜压块能够抵压光刻物。本实用新型提供的载物台，能够解决现有光刻物受到上下夹紧所带来的磨损或破损的问题，且能够达到对光刻物的固定松紧可调的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 | ||
【主权项】：
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