[实用新型]一种新型离子枪水冷装置

摘要

本实用新型属于离子枪技术领域，具体公开了一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路置，本实用新型本实用新型实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作。