[实用新型]一种简易电磁过滤的镀膜装置有效
| 申请号： | 202123299979.1 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216738505U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张祖航;郎文昌;章柯;张振华;林琪澳 | 申请（专利权）人： | 温州大学;温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 325000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种简易电磁过滤的镀膜装置，属于离子镀膜技术领域，其包括具有矩形状空腔的离子镀壳体，离子镀壳体中间设有柱状旋转阴极弧源，矩形状空腔一端封闭且另一端为开口，设有开口的一端为离子出口；柱状旋转阴极弧源放电位朝向离子镀壳体封闭一端，离子镀壳体上固定有电磁线圈组；本实用新型将柱状旋转阴极弧源的放电位朝向离子镀壳体的封闭一端，使其产生的未离化的分子、原子及颗粒会沉积在离子镀壳体的封闭一端，而待沉积离子在电磁线圈的作用下偏转通过离子出口进入沉积壳体，矩形状空腔的离子镀壳体的体积大，路程短，并且直接与真空腔体相连，沉积速率将大幅度提升，且结构十分简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 电磁 过滤 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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