[实用新型]一种钝化装置有效
| 申请号： | 202123275302.4 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN216377909U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杜有成;李鹏飞;胡庆文;李晓军 | 申请（专利权）人： | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李泽艳 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种钝化装置，涉及微纳米加工技术领域，包括容腔体、盖体以及至少三根输送管。其中，至少三根输送管布设于盖体朝向容纳空间的一侧且绕开口圆周均匀分布，各个输送管一端与开口连接，另一端向盖体边缘位置延伸。使用时，通过往开口注入钝化用试剂，并通过多个圆周均匀分布的输送管输送至容纳空间内，使得容纳空间内多个方向同时且均匀地分布有钝化用试剂，进而保证母模板能够均匀地钝化，钝化效果好。再者，多输送管的设计实现的容纳空间内多个方向同时且均匀地分布有钝化用试剂的情况，也使得该设计的钝化装置能够用于更多尺寸的母模板钝化使用，适用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钝化 装置 | ||
【主权项】：
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