[实用新型]多轴直线运动机构有效
申请号: | 202122996609.7 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN216541891U | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 宋勇超;周伟;俞勤;刘轩;李志强;黄蓉;陈楚杰;胡洋;黄金鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
主分类号: | B23Q1/01 | 分类号: | B23Q1/01 |
代理公司: | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人: | 张曾明 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多轴直线运动机构,包括大理石基座、大理石龙门架、X轴运动模块以及Y轴运动模块,所述X轴运动模块及所述大理石龙门架安装在所述大理石基座上,所述Y轴运动模块安装在所述大理石龙门架上;所述大理石龙门架对应所述X轴运动模块的位置设置有避让槽,所述大理石龙门架为一体式结构。该多轴直线运动机构通过使大理石龙门架采用一体式结构,达到避免现有技术中连接横梁与立柱时因安装误差对整体空间精度的影响的目的。 | ||
搜索关键词: | 直线运动 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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