[实用新型]一种带有辊轴压印滚轮的用于纳米压印的装置有效
申请号: | 202122754404.8 | 申请日: | 2021-11-11 |
公开(公告)号: | CN216210470U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 张婉皎;邓小菊 | 申请(专利权)人: | 杭州欧光芯科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有辊轴压印滚轮的用于纳米压印的装置。纳米压印装置包括温控电路、轴承、滚轮体和机械臂;机械臂包括轴体和支撑臂,轴承套装在机械臂的轴体上,轴承的两端穿出纳米压印装置并均连接机械臂的支撑臂;机械臂的轴体外套装有滚轮体,滚轮体上布置有温控电路;滚轮体为中空圆柱状,滚轮体的内部为填充区,滚轮体的外表面为压印面,填充区和外表面之间为隔离层,填充区的内表面紧贴轴承的外表面。本实用新型使用充有胶体的辊轴,通过加入胶体和温控电路实现对滚轮体刚性度的可调,使装置具有普适性,压印材料和结构的压印选择更为广泛,同时可防止异物颗粒导致模板或基底损伤,提高纳米图形转移的精度和压印质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 辊轴 压印 滚轮 用于 纳米 装置 | ||
【主权项】:
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