[实用新型]一种保证粘接强度的晶圆保持环

摘要

本实用新型公开了一种保证粘接强度的晶圆保持环，包括不锈钢环，所述不锈钢环的周表面固定设置有塑料层环，所述不锈钢环的表面开设有不锈钢环凹槽面，所述塑料层环的表面设置有塑料层环凸面。本实用新型通过采用抛光方式对粘接前不锈钢环凹槽面进行抛光处理，抛光时采用砂纸对粘接面进行抛光，且粗糙度在Ra5.6‑Ra6范围内，采用抛光方式对粘接前PPS塑料件塑料层环凸面进行处理，抛光时采用砂纸对粘接面进行抛光，且粗糙度在Ra3.4‑Ra4范围内，保证在塑料层环凸面与不锈钢环凹槽面的各个位置有胶流出，保证塑料层环与不锈钢环之间充满粘结的胶，保证保持环具有足够的粘胶强度，然后采用化学试剂去除掉流出胶后，粘接后零件具有较高的平面及平行度保证零件使用。