[实用新型]单晶炉前端装置有效
| 申请号： | 202121828411.1 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215373582U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 孙宁;周发州;周俊义 | 申请（专利权）人： | 苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27D17/00 | 分类号： | F27D17/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉前端装置，其包括多个用于回收单晶炉排放的部分氩尾气的分区域独立回收单元、多个用于对氩尾气进行增压的独立增压单元、多个用于对氩尾气的氧含量进行检测的氧含量检测单元、多个用于放空氩尾气的独立放空单元；并行设置的各个分区域独立回收单元的输入侧分别与单晶炉的输出侧相连接，独立增压单元的输入侧与分区域独立回收单元的输出侧一一对应串联，每个独立增压单元的输出侧分支为第一支路和第二支路，第一支路与各个独立放空单元的输入侧一一对应连接，第二支路均与氩气净化系统相连接，氧含量检测单元与独立增压单元的输出侧一一对应连接。本实用新型能够针对单晶炉输出的氩尾气进行处理，避免影响氩气回收提纯。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 前端 装置 | ||
【主权项】：
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