[实用新型]一种精密零件PVD遮蔽装置有效
申请号: | 202121743167.9 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN215799841U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 荣琦 | 申请(专利权)人: | 苏州意达诺精密科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/50 |
代理公司: | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人: | 罗磊 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种精密零件PVD遮蔽装置,其包括载板和与所述载板配合的盖板,所述载板上设置有第一通孔,所述第一通孔的四周分别设置有第一挡板,所述载板上设置有若干限位部件,若干所述限位部件沿所述载板的周向布置,所述第一通孔的两端分别设置有定位柱,所述定位柱的顶部呈锥形,所述盖板对应所述第一通孔的位置设置有第二通孔,所述第二通孔的四周分别设置有第二挡板,所述盖板上设置有匹配所述定位柱的定位孔,所述盖板对应所述限位部件的位置设置有定位槽。本实用新型相较于现有技术可以解决精密零件真空镀膜治具安装拆卸复杂以及遮蔽效果差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 零件 pvd 遮蔽 装置 | ||
【主权项】:
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