[实用新型]一种高精度表面平整度测量仪

摘要

本实用新型公开了一种高精度表面平整度测量仪，以解决现有技术对于大尺寸部件表面平整度的高精度测量成本较高、实施困难等问题。该高精度表面平整度测量仪包括固定台面、第一测距传感器、运动模块、运动模块垂直位移检测装置和计算机，固定台面用于放置待测部件，第一测距传感器与运动模块相对固定，所述运动模块垂直位移检测装置用于在第一测距传感器测距扫描的过程中同步检测运动模块在垂直于待测部件表面方向的位移量；运动模块垂直位移检测装置的输出端和第一测距传感器的输出端分别对应接计算机的两个数据输入端，用于提供表面平整度数据计算的补偿量。本实用新型可实现对大尺寸部件表面平整度的高精度检测，实施简便、成本较低。