[实用新型]一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构有效
申请号: | 202121632352.0 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN215404642U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 张小虎;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构,包括水冷热屏本体,其特征在于:水冷热屏本体由水冷热屏内筒和水冷热屏外筒组成,水冷热屏内筒设置于水冷热屏外筒内,水冷热屏内筒和水冷热屏外筒分别为中空结构形成水道并通过冷却水,水冷热屏内筒与水冷热屏外筒之间间隔形成夹层用以通入氩气;该水冷热屏结构简单,外层循环水有效降低晶棒温度,内层流动氩气提高成晶液面的稳定性,便于成晶。 | ||
搜索关键词: | 一种 改善 尺寸 型晶棒成晶 水冷 结构 | ||
【主权项】:
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