[实用新型]能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产装置有效
| 申请号： | 202121380719.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN215404652U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 伊冉;王黎光;张兴茂;闫龙;李小红 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产装置，属于单晶硅生产技术领域。在搅拌器的下端设置螺旋桨叶，且螺旋桨叶的叶宽为坩埚半径的1/3～1/2，化料结束后，将搅拌器安装在所述重锤上，并使得所述螺旋桨叶伸入所述坩埚内进行搅拌，以降低单晶硅晶棒的头部氧含量。搅拌过程中，在所述螺旋桨叶的作用下，使得硅熔汤向中部汇集，形成中间略高、坩埚内壁处略低的液面，一方面降低安全风险，防止硅熔汤挂壁或溢出，另一方面，有利于进一步降低硅熔汤中的氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 降低 头部 含量 直径 单晶硅 生产 装置 | ||
【主权项】：
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