[实用新型]用于MOCVD中的并联过滤器有效
| 申请号： | 202121315132.5 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN214861913U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 孙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州尚勤光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 顾品荧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于MOCVD中的并联过滤器，包括尾气进气管路，所述尾气进气管路一端与MOCVD连接，另一端与两个并联支路连接，两个所述并联支路上分别可拆卸设置有第一并联过滤器和第二并联过滤器且两个并联支路上均设置有多个隔离阀，两个所述并联支路另一端均与二级过滤管路连接，所述二级过滤管路与二级过滤器连接，所述二级过滤器与尾气出气管路连接，所述第一并联过滤器和第二并联过滤器的过滤精度均大于二级过滤器的过滤精度且二级过滤器的过滤精度且小于20um，有效提高过滤精度和工作效率的同时延长了泵的维护保养周期。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd 中的 并联 过滤器 | ||
【主权项】：
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