[实用新型]一种精确控制硅烷混氮浓度配比的充装系统有效
| 申请号： | 202120992722.5 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN214619017U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 张鹏飞;马启廷;徐娟娟;柴岗元;王矿宾 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/08;F17C1/00;F17D1/07;F17D3/01 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 林杨 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型的技术方案是这样实现的：一种精确控制硅烷混氮浓度配比的充装系统，其特征在于：包括氮气储罐、氮气输送管路、硅烷储罐、硅烷输送管路、充装钢瓶和充装管路，所述充装管路与充装钢瓶连通，该充装管路的一端与充装钢瓶可拆卸连接，所述氮气输送管路连通氮气储罐和充装管路，所述硅烷输送管路连通硅烷储罐和充装管路，所述氮气输送管路和硅烷输送管路上均安装有输送泵、粗过滤器和精过滤器，所述氮气输送管路上设置有第一流量计和第一阀门，所述硅烷输送管路上设置有第二流量计和第二阀门，所述充装管路上设置有第三流量计和第三阀门；本实用新型的有益效果是：充装气体精准配比，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 控制 硅烷 浓度 配比 系统 | ||
【主权项】：
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