[实用新型]一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置有效
| 申请号： | 202120982631.3 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN214670076U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;周伟东;许济琛;范亚林;郭金槄;徐梓苏;李洁;李超;邹晨宇;陈文豪;马海航;赵慧博;张森;张一硕;李瑞 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于六维微动平台的纳米压印装置，该装置包括机架、Z向工作平台、六维微动平台、压印装置、紫外固化装置、承片台、X‑Y向工作平台。通过压印装置内的压力传感器配合六维微动平台调节透明模板至水平并在模板中心标记，通过X‑Y向工作平台调节透明衬底的位置，使承片台内的CCD相机透过透明衬底对准模板中心的标记，再通过六维微动平台使模板中心标记与透明衬底中心精准对齐，然后用模板进行压印，压印后通过紫外固化装置进行紫外固化，最后脱模。本实用新型相对于现有技术来讲，其优点是可以通过六维微动平台调节模板姿态，从而实现模板的水平调节以及模板和衬底的精准对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微动 平台 紫外 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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