[实用新型]曝光机光罩夹具有效
| 申请号： | 202120681642.8 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN214751322U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 秦重虎;郑建万;傅志敏;蒋雨彬 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻显示器件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443000 湖北省宜*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光机光罩夹具，包括框体（1），框体（1）上设有光罩吸附槽（2），框体（1）上设有多个夹具（3），多个夹具（3）沿光罩吸附槽（2）边缘设置，光罩吸附槽（2）上设有多个吸附孔（4），框体（1）上设有负压抽气孔（5），负压抽气孔（5）与吸附孔（4）连通。本实用新型可以实现光罩嵌套拼接，光罩尺寸不受设备机构限制，从而实现灵活定制化，使得设计上可以依据产品尺寸来实现最经济排版。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 机光罩 夹具 | ||
【主权项】：
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