[实用新型]一种用于液晶面板刻蚀的电子监控仪

摘要

本实用新型公开了一种用于液晶面板刻蚀的电子监控仪，包括监控主机，所述监控主机分别与传送机械手摄像机、安装机械手摄像机、基板安装位扫描仪、基板固定器摄像机、刻蚀液进液流量计、刻蚀液喷嘴流量计、刻蚀液温度计、基板刻蚀面扫描仪、刻蚀液退液流量计、显示屏和报警器相连；所述监控主机对基板安装位扫描仪、基板刻蚀面扫描仪采集的数据与预先设置的标准数据进行比对，存在误差时通过报警器发出报警信号，并在显示屏上显示。本实用新型能对加工过程中每个步骤进行监控，保证产品加工质量，同时对加工中出现的问题，快速定位并给出报警信息，帮助工作人员迅速排除问题，恢复生产，提升生产效率，实现自动化监测，减少了人工工作量。