[实用新型]Overlay Tester试样修整装置有效

专利信息
申请号: 202120573556.5 申请日: 2021-03-22
公开(公告)号: CN216050996U 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 刘家庆;李宗文;赖增伟;贤有贡;王红伟;王彬;禤炜安;黄松;康子健;覃丽梅 申请(专利权)人: 广西新发展交通集团有限公司;广西交科集团有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 广西南宁公平知识产权代理有限公司 45104 代理人: 杨立华
地址: 530029 广西壮族自*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型公开了一种Overlay Tester试样修整装置,该装置为无底圆柱形伸缩筒;无底圆柱形伸缩筒包括圆形顶面和圆柱形伸缩筒体;无底圆柱形伸缩筒由主罩和两个圆弧罩组成,主罩的罩顶和两个圆弧罩的罩顶通过活页连接组成圆形顶面,主罩的侧壁和两个圆弧罩的侧壁共同构成圆柱形伸缩筒体;主罩的侧壁和两个圆弧罩的侧壁上分别设有固定孔,其侧壁侧边缘分别设有刻度尺。使用本实用新型辅助Overlay Tester试验试样切割时,可很好地消除人工测量尺寸的偏差,有效提升试验效率及整个试验的准确性,甚至对后期该方法的大面积推广应用奠定了一定基础。
搜索关键词: overlay tester 试样 修整 装置
【主权项】:
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