[实用新型]基板夹持承载台

摘要

本实用新型涉及半导体行业基板湿法处理领域的一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向分别安装有活动pin及固定pin，活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，活动pin的柱体转动安装在承载台上或相对平移地与承载台连接，活动pin和固定pin的夹持块均设置在柱体顶部，活动pin的底部安装有活动磁铁；固定座上安装有升降机构，升降机构的输出端连接有升降磁铁，升降磁铁通过磁力带动活动pin转动或平移，进而夹紧或放开基板；升降磁铁与活动磁铁之间的磁力大小通过升降机构驱动升降磁铁升降进行调节。本实用新型通过控制升降机构带动升降磁铁升降，实现活动pin对基板的夹紧与放开，结构简单，控制方便。