[实用新型]一种声速连续的键合结构声表面波器件有效
| 申请号： | 202120465887.7 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN215072339U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 封琼;许志斌;陆增天 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种声速连续的键合结构声表面波器件，涉及声表器件领域，由下至上依次包括支撑衬底、缓冲层、组分渐变层、压电基板和叉指换能器，组分渐变层靠近缓冲层一侧的组分电阻率大于靠近压电基板一侧的组分电阻率，组分渐变层靠近缓冲层一侧的组分声速高于靠近压电基板一侧的组分声速，且组分沿生长方向线性变化。组分渐变层既能抑制声表面波器件在键合界面处的弹性波反射造成的不必要的声学响应，同时能缓解压电基板与支撑衬底之间的应力失配，降低压电基板的翘曲。另外，组分渐变层还具备声速可控的特点，能够集中声学波能量，提高器件的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声速 连续 结构 表面波 器件 | ||
【主权项】：
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