[实用新型]一种单晶炉外置加料机装置有效

专利信息
申请号: 202120397778.6 申请日: 2021-02-23
公开(公告)号: CN214881924U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 姚长娟;刘旭光 申请(专利权)人: 天津环博科技有限责任公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 陈雅洁
地址: 300384 天津市滨*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供了一种单晶炉外置加料机装置,包括单晶炉本体与加料机本体,所述单晶炉本体内设置有用于熔融单晶硅的坩埚,所述加料机本体包括用于投放硅料的投递单元,加料机本体底部还设置有加料管,所述加料机本体通过加料管与单晶炉本体连通。本实用新型所述的一种单晶炉外置加料机装置,可以在不开启炉盖的情况下进行硅料重复投入,可有效提高设备生产效率,并且装料桶分三个料仓,通过仓门可实现单独控制,每个料仓可装不同粒径单晶,可实现前期投小直径晶粒,中后期投大直径晶粒,防止复投过程中硅液飞溅。
搜索关键词: 一种 单晶炉 外置 加料 装置
【主权项】:
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