[实用新型]一种晶圆的外观检测设备有效
| 申请号： | 202120393923.3 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN214408879U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 林锵 | 申请（专利权）人： | 深圳市德斯戈智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 曹勇 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆的外观检测设备，包括底座，在底座上设有柜体，在柜体的一侧设有门体；在所述底座内部设有X轴移动组件，在X轴移动组件上设置有载物板,在所述底座的上方设置有支撑架，在支撑架上设有Y轴移动组件,在Y轴移动组件连接有检测装置；在所述检测装置内部设有Z轴移动组件，在Z轴移动组件上设置有相机；本实用新型设置用于放置待测物料的的载物板，真空吸附，无需夹取物料，避免对物料造成损坏，并且通过X、Y、Z轴移动，对晶圆进行全方位的检测，通过滑动的门体，对检测设备的打开和闭合的操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外观 检测 设备 | ||
【主权项】：
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