[实用新型]一种用于等离子固态冶金的新型源极装置有效
| 申请号： | 202120134277.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214193422U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王成磊;谢映光;梁朝杰;杨纪洁;刘伟杰;梁慕林 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C10/06 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 童世锋 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于等离子固态冶金的新型源极装置，包括两端开口的中空棱柱状筒身，筒身内侧的各筒壁上设有凹台，凹台的底部设有卡槽，筒身的各棱角处倒为圆角，各圆角对应的筒身圆周上设有圆孔；棱柱状筒身为四棱柱状筒身，每个棱角处倒为圆角，其中一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有2个凹台，另一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有1个凹台；该装置结构简单，源极靶材安装方便，减少了源极熔融，靶材和预渗基材之间的距离方便调整，可以同时采用板状源极靶材和棒状源极靶材对预渗基材共渗进行固态冶金。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子 固态 冶金 新型 装置 | ||
【主权项】：
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