[实用新型]一种单进双出双腔微型泵

摘要

本实用新型公开了一种单进双出双腔微型泵，泵腔组件包括第一工作腔和第二工作腔，第一工作腔内安装有第一进气阀、第一排气阀和第二排气阀，第二工作腔内安装有第二进气阀、第三排气阀和第四排气阀；第一隔膜固定在第一工作腔的上端，第二隔膜固定在第二工作腔的上端，第一隔膜与第二隔膜均与驱动机构连接。本实用新型的每个工作腔安装了两个排气阀，排气通流面积两倍于进气通流面积，因此在隔膜运动的排气过程中，每个排气单向阀受到的工质冲击大幅度减轻，增加了工作寿命；同时，两个工作腔的隔膜受驱动机构的控制，进行交替往复运动，使得两个工作腔的吸气和排气动作交替进行，增加了输出参数的平稳性。